SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。
激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。
SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。
● 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
● 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
● 可实现龙门机床双轴同步测量；
● 可实现对机床回转轴的测量与校准；
● 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
● 具有动态测量与分析功能‘’
● 支持手动或自动进行环境补偿。
● 友好的人机界面；
● 丰富的应用功能模块；
● 向导式的操作流程；
● 简洁化的记录管理；
● 支持中文、英文和俄文界面；
● 支持企业专属模板定制。
